罗茨真空泵抽气速率的测量程序
来源: admin   发布时间: 2015-05-22   1376 次浏览   大小:  16px  14px  12px

抽气速率测量装置如图所示。为了测量抽气速率,试验罩、真空计和流量计应与泵连接。

关闭微调阀5,开泵运转,待泵运转稳定并达到极限压力后,开启微调阀5,把试验气体引入罩内,

建立一个设定的平衡压力,用真空计测其压力值,同时用流量计测量气体流量。按规定进行抽气速率的计算。测量应从接近极限压力的适当压力值开始,直到适合泵结构特点的允许压力。每个压力数量级内至少测三点(其分布基本符合2.5、5、10)。若测一次流量时间较长,取60s为一周期,压力应重复测量,并取其平均值。如果最高与最低之差大于平均值10%,流量和压力都应重新测量。

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